京仪自动化苦求半导体工业废气照看专利, 具备可捏续性且不影响开发驱动和居品良率
国度常识产权局信息显现，北京京仪自动化装备期间股份有限公司苦求一项名为“半导体工业废气照看秩序及系统”的专利，公开号CN121222235A，苦求日历为2025年12月。
专利纲目显现，本苦求触及废气照看期间限度，提供一种半导体工业废气照看秩序及系统。所述秩序包括：限制脱氧反馈单位对半导体工业废气进行脱氧照看；限制气体浓度检测单位对脱氧后的废气进行氧气浓度检测；在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，限制等离子反馈器对脱氧废气进行等离子照看；对脱氧反馈单位中脱氧剂的剩余使用寿命进行瞻望，在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对脱氧剂进行更换或再生。本苦求欺诈前置脱氧，从起源遏止氮氧化物生成，欺诈脱氧剂剩余使用寿命瞻望，实时更换或再生脱氧剂，具备可捏续性、不会影响半导体高精度开发的驱动和居品的良率，且无需磋议对氮氧化物进行催化明白的效果以及高热明白的能耗。
天眼查贵府显现，北京京仪自动化装备期间股份有限公司，建造于2016年，位于北京市，是一家以从事专用开发制造业为主的企业。企业注册老本16800万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备期间股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标神色101次，财产痕迹方面有商标信息22条，专利信息530条，此外企业还领有行政许可12个。
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